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XP POWER ESC系列 靜電卡盤電源解決方案

1kV - 15kV靜電高壓源 對流冷卻

高達15kV(±7500V)的浮動輸出

•輸出電壓范圍:1kV-15kV

•單輸出和雙極模型

•輸入輸出隔離:>500MΩ

•自動極性反轉

•自動放電

•短路和開路保護

•內置RF濾波可用

•模擬/ RS232 / DeviceNet(可選)